激光平整度測量儀QVS 系列
儀器特點:
激光平整度測量儀QVS 系列 是由我公司最新研發(fā)的平整度測量儀,全自動影像儀加激光檢測,實現(xiàn)平整度檢測先進(jìn)功能。采用進(jìn)口精密配件為提高測量儀工作狀態(tài)時的精確度及穩(wěn)定性提供有力保證!該龍門型影像測量儀主要運用在PCB線路板、覆銅板、平板玻璃、液晶模組、刀模、絕級材料等。
● 高精度大理石基座、橫梁保證極高的穩(wěn)定性及剛性。
● 小龍門移動式架構(gòu)即工作臺載物玻璃不動,可獲得更高的速度而不影響測量。
● 精密研磨級滾珠螺桿和日本THK精密線性導(dǎo)軌,配日本安川伺服馬達(dá)采用雙重閉環(huán)運動控制,具有高速精確的定位以及運動的穩(wěn)定性。
● 配SONY高分辨率彩色攝像機(jī),采用我公司自主研發(fā)的表面冷光源,表面光由獨立四十八組光源組成,每一組均為恒流源驅(qū)動,連續(xù)可調(diào),保證高品質(zhì)的測量畫面。
● 測量系統(tǒng)采用進(jìn)口開放式英國RENISHAW精密光學(xué)尺,分辨率為0.5um。
● 采用我公司開發(fā)的嵌入式模塊控制電機(jī),提高了電機(jī)響應(yīng)速度,還簡化了儀器與PC機(jī)的接口,PC機(jī)與儀器通過USB線和S端子線連接。
● 自動連續(xù)變倍鏡頭,自動變倍后無需人工重新進(jìn)行精度校驗。
● 影像導(dǎo)航系統(tǒng)讓你快速定位工件測量位置,大幅提高測量效率。
● 配我公司專用全自動測量軟件Quickmeasuring,可編程自動檢測,大大提高測量效率。
● LK 感測頭,應(yīng)用半導(dǎo)體測量硅芯片的厚度,電子測量超薄HDD的偏擺,LCD控制調(diào)合器的高度,超精度 - LK-G10系列超精度傳感器,重復(fù)精度高達(dá)1μm,測量傳感器>激光位移傳感器
儀器型號 | QVS3020CNC | QVS4030CNC | QVS5040CNC | |
工作臺 | 運動行程(mm) | 300x200x200 | 400x300x200 | 500x400x200 |
外形尺寸(mm) | 866x740x1750 | 1740x1066x1750 | 1116x940x1760 | |
儀器重量(kg) | 360 | 400 | 520 | |
承重(kg) | 35 | 35 | 30 | |
測量精度 | XY軸 | <=(3+L/200)um | ||
Z軸 | <=(4+L/200)um | |||
光柵尺 | 進(jìn)口開放式光柵尺,分辨率0.5um | |||
CCD | SONY彩色攝像機(jī) | |||
光學(xué)系統(tǒng) | 自動變倍鏡頭;選配激光,測量透明式玻璃的厚度和平整度 | |||
照明系統(tǒng) | 連續(xù)可調(diào)式LED環(huán)形表面光及輪廓光,根據(jù)放大倍率確定最大光強(qiáng) | |||
軟件系統(tǒng) | QuickMeasuring 全自動影像測量軟件 | |||
工作環(huán)境 | 20 ℃ ± 3 ℃,溫度45~75% | |||
電源 | 220V ± 10% ,50Hz |