氣浮式大行程影像測(cè)量?jī)x
儀器特點(diǎn): 該系列氣浮式大行程影像測(cè)量?jī)x采用龍門式結(jié)構(gòu)(橋架式)運(yùn)行性能穩(wěn)定,且機(jī)構(gòu)穩(wěn)定不變形。X、Y、Z三軸均采用伺服電機(jī)、全采用雙重閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制、可保證電機(jī)在中、高速動(dòng)動(dòng)時(shí)的穩(wěn)定性,和準(zhǔn)確的定位功能,影像Z軸可自動(dòng)對(duì)焦、配合自動(dòng)變焦鏡頭,可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)變焦而不需倍率校正。 |
氣浮型影像測(cè)量?jī)x | JTVMS-5030 | JTVMS-6040 | |||||||||
工 作 臺(tái) | 金屬臺(tái)面尺寸(mm) | 760×640 | 730×530 | ||||||||
玻璃臺(tái)面尺寸(mm) | 550×350 | 650×450 | |||||||||
運(yùn)動(dòng)行程(mm) | 500×300 | 600×400 | |||||||||
Z軸升降行程 | 200mm | ||||||||||
工作距離 | 92mm | ||||||||||
X、Y、Z數(shù)顯解析度 | 1μm | ||||||||||
X、Y坐標(biāo)示值誤差 | ≤(3+L/200)μm | ||||||||||
影像系統(tǒng) |
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測(cè)量系統(tǒng) | QuickMeasuring測(cè)量軟件 |